1)存储晶圆通胀:AI带来的晶圆片数增长,HBM3E每GB容量消耗的晶圆面积约为DDR5的3倍;HBM4因堆叠层数提升至16-18层,该比例将攀升至3.8-4倍。TSV硅通孔、微凸点、混合键合等工艺会带来额外良率损失,进一步推高单位容量的硅片消耗;

2)逻辑测试片通胀:28nm工艺每100片正片晶圆需要配套5-8片测试片(含监控片、验证片),7nm工艺每100片正片晶圆需要配套20-25片测试片,3nm工艺每100片正片晶圆需要配套40-50片测试片;

3)测试时间通胀:存储芯片HBM测试点数量是普通DRAM的2倍,单晶圆测试时间增加50%,3DNAND堆叠层数每增加50层,测试时间增加30%;逻辑芯片从28nm到3nm,单晶圆测试时间增长了2.5倍;

WAT是晶圆厂工艺管控的核心设备,属于必配。WAT的核心功能是监控薄膜、光刻、刻蚀、离子注入等工艺是否达标,通过测阈值电压Vt、方块电阻Rs、接触电阻、漏电、线宽、击穿电压等工艺参数,提前发现晶圆工艺漂移,避免整片晶圆报废;

市值空间:目前每1万片晶圆对应8-10台WAT测试机,单台均价400-500万元,越复杂的芯片WAT用量越大且设备价格越高。25年国内大约12亿市场,广立微4.5亿,市占率约38%,2030年WAT将超过30亿市场,广立微预计占比70-80%(国内没有对手),对应21-24亿收入,30%净利率对应6.3-7.2亿净利率,给30倍PE对应190-220亿增量市值;此外,公司还有EDA软件业务(也包含并购硅光EDA公司LUCEDA),按照50倍PS对应150-250亿市值,硬件方面公司还有硅光晶圆OWAT等待26Q4样机推出,国内也是独家,每万片价值量是电芯片WAT的数倍,未来5年可以展望20亿收入增量6亿净利润,对应200亿市值,公司整体可看600亿,3倍空间!

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