卡位核心领域,新架构进展积极
前道涂胶显影设备(track)是产线上唯一与光刻机联机作业的核心设备,当前市场规模约百亿,日系厂商TEL占据绝大多数份额,国产化率极低,芯源微是国内量产型前道涂胶显影设备龙头,已推出offline、I-line、KrF及ArF浸没式等多种型号产品,卡位优势突出。
公司新一代超高产能涂胶显影机架构FTAlkaid取得积极进展,该系列前道超高产能涂胶显影机具有高产能、高稳定性、高可靠性,有望满足下游客户,实现国产化率的跃升。
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