国际巨头加速MOR布局
JSR拟在台湾投资设厂,目标2028年投产,为台积电供货MOR光刻胶;韩国新厂2026年投产,面向三星和SK海力士。日企占全球光刻胶约八成份额,JSR以19%市占率居全球第二,前三大厂商中TOK与信越化学已在台湾设厂。
EUV竞争升级为系统级方案
JSR/Inpria与Entegris达成专利合作,整合MOR光刻胶、纯化及输送技术,协同开发前驱体与超洁净过滤方案。EUV竞争已从单一产品拓展至“光刻胶+前驱体+过滤+输送”的整体解决方案。
全球EUV光刻胶市场增长强劲
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