公司半导体精密零部件占营收的主体，产品均为定制化精密金属部件，基材以高端铝合金、不锈钢为主，覆盖晶圆制造前道全核心制程及部分封装环节，终端适配 12 英寸大晶圆产线设备。
1⃣刻蚀设备核心结构件
刻蚀领域是公司出货量最大、技术最成熟的品类，也是国产刻蚀设备国产化的核心配套部件：
真空反应腔体：刻蚀设备的核心反应容器，为晶圆加工提供超高真空、耐等离子腐蚀的密闭环境，需满足微米级平面度、超高密封性要求，是公司壁垒最高的单品之一。
刻蚀气体输送中心（气体输送平台）：集成精密管路与控制结构，负责刻蚀工艺气体的均匀输送与流量控制，管路直线度、焊接变形控制精度达行业顶级水平。
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