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半导体设备继续推荐先进封装TGV测试设备

1. 半导体测试设备:量价齐升逻辑明确,AI 驱动市场空间扩容单价持续上行:以华峰测控为例,其设备单价从2018/2019年约40 万元提升至2025 年约77-80 万元,且后续新机型发布将进一步推动单价上行。海外对标(爱德万、泰瑞达)用于AI 芯片的测试机单价已从约500-600 万元人民币提升至接近1,000 万元人民币。

需求量增长:AI 芯片复杂度提升导致测试时间显著拉长(以英伟达为例),新增系统级测试、老化测试等环节,直接拉动测试设备需求。

全球市场空间增速:2026 年SoC 类测试机市场空间预计增长30%以上,达到约90-100 万美金(原文表述,可能为亿美元,

此处保留原文数值);存储类测试机预计增长20%-30%。

国产环节增速最快:从年报、一季报及中报预期看,测试设备已成为半导体设备各环节中增速最快的子领域,预计趋势延续。

相关标的:华峰测控、长川科技、金海通、金之达等。

2. 玻璃基板(TGV)封装设备:从实验到中试的拐点年,设备先行核心驱动力:AI 大尺寸芯片(载板尺寸已超10×10cm)发热导致传统ABF 载板因热膨胀系数大而发生翘曲,玻璃基板凭借低热膨胀系数、高频低损耗、成本优势成为技术迭代方

向。

应用场景:先以玻璃芯板(Glass Core,约1mm 厚)作为载板骨架,未来可能扩展至光电集成、射频芯片、CoWoS 中介层等。

关键工艺与设备TGV 打孔:主流方案为激光诱导刻蚀(激光改质+湿法腐蚀),

核心设备为激光打孔设备。相关公司:帝尔激光(最核心推荐)、英诺激光、德龙激光、大族激光等。

金属化:种子层制造(PVD 磁控溅射)+电镀增厚。相关公司:

东威科技、三孚新科等。

产业化节奏:2026 年为从量变到质变之年,海外进入中试阶段,国内开始布局;2026-2027 年逐步导入量产,设备订单将先行落地(台积电量产预期至2028 年,但设备订单提前1-2 年释放)。

催化剂:预计持续有批量设备订单落地,建议重点关注帝尔激光,其次关注德龙激光、英诺激光、东威科技、三孚新科。

3. 先进封装设备:国产替代步入放量期,增量环节订单密集背景:国内先进封装产能此前较小,国产设备参与度低。随着盛合晶微上市、国产算力芯片需求及出货指引持续上修,

国内先进封装资本开支持续加大,国产设备经2-3 年验证后开始获得复购订单。

重点增量设备环节激光直写光刻:国产唯一标的芯碁微装,竞争格局优异,为先进封装核心增量设备。

激光隐切:3D 封装中晶圆减薄后传统切割易碎,需激光隐切。

德龙激光已取得龙头客户重复订单。

超声扫描检测:用于检测晶圆堆叠中的缝隙、气泡等缺陷。

骄成超声自2025 年起陆续获得验证订单,2026 年开始形成复购并逐步放量。

键合设备:包括热压键合、混合键合、临时键合等,用于2.5D/3D 堆叠中的晶圆/芯片固定与线路连接。布局公司:拓荆科技、快克智能等。

投资逻辑:此前国产化率极低,当前处于从验证到批量订单的拐点,往后看资本开支加大+国产化率提升将提供持续空间。

4. 总结与策略推荐三条主线逻辑清晰:测试设备(需求驱动量价齐升)> 玻璃基板设备(新技术带来增量,设备先行)> 先进封装设备(国产替代,复购订单放量)。

核心标的:华峰测控、长川科技(测试);帝尔激光(TGV);

芯碁微装、德龙激光、骄成超声(先进封装)。

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